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高頻壓力傳感器工作原理

發(fā)布日期:2023-02-27

高頻壓力傳感器是一種能夠測量高速變化的壓力信號的傳感器。它有多種類(lèi)型和結構,其中一種常見(jiàn)的是MEMS壓力傳感器。

它的工作原理是:

壓力傳感器利用壓阻效應原理,即當材料受到應力時(shí),其電阻值會(huì )發(fā)生變化;

壓力傳感器采用三維集成電路工藝,在單晶硅片薄膜上制成四個(gè)應變電阻,構成一個(gè)惠斯通檢測電橋;

當被測介質(zhì)施加壓力時(shí),橋壁電阻值發(fā)生變化,產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)電壓信號;

這個(gè)信號經(jīng)專(zhuān)用放大和濾波處理后,輸出一個(gè)與壓力成正比的模擬或數字信號。

壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應速度快、靈敏度高等特點(diǎn),適用于汽車(chē)、航空、醫療等領(lǐng)域的高頻動(dòng)態(tài)壓力測量。

高頻壓力傳感器

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