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          高頻壓力傳感器工作原理

          發布日期:2023-02-27

          高頻壓力傳感器是一種能夠測量高速變化的壓力信號的傳感器。它有多種類型和結構,其中一種常見的是MEMS壓力傳感器。

          它的工作原理是:

          壓力傳感器利用壓阻效應原理,即當材料受到應力時,其電阻值會發生變化;

          壓力傳感器采用三維集成電路工藝,在單晶硅片薄膜上制成四個應變電阻,構成一個惠斯通檢測電橋;

          當被測介質施加壓力時,橋壁電阻值發生變化,產生一個差動電壓信號;

          這個信號經專用放大和濾波處理后,輸出一個與壓力成正比的模擬或數字信號。

          壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應速度快、靈敏度高等特點,適用于汽車、航空、醫療等領域的高頻動態壓力測量。

          高頻壓力傳感器

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